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UGA系列大气分析仪是现阶段最先进的质谱台式分析仪,工作压强范围从大气到超高真空,响应时间快,内置双隔膜泵和涡轮泵,多个毛细管进气口,自带windows软件更加方便进行数据处理和远程控制。UGA系列的应用包括半导体尾气检...
QMS系列气体分析仪提供了一种有效的、具有成本效益的高压气体检测的解决方案。这些质谱仪简化了在线过程监测、气体种类的分析、泄漏检测和故障诊断。连续不断的对气体进行检测,流动速率每分钟几毫升。进口气体的压力从1bar 到1...
PPR过程监控系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪(RGA):一路高压进气模式用来检测基本真空,一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径,其目的是使运行压力工作在0....
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